罗茨真空泵常见的八大问题
作者: 本站
来源: 本站
时间:2016年03月28日
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使用罗茨泵时最常见问题及如何避免:
下面先来简单介绍一下罗茨泵:
罗茨泵以其发明者的姓名命名,是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子,转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵,是真空镀膜机获得高真空的主要设备。
总结了罗茨泵最常见的八个问题,给大家分享一下,希望大家以后可以避免出现这些问题。
1
在极限压力下运行
对于在最大差压下运行的罗茨泵,在对其进行冷却前,不建议将其直接置于极限压力下运行。在极限压力下,由于真空泵转速过快,最小或零气体通过量不会通过气体或外壳表面散发任何热量。由于温度的突然升高,转子和外壳之间的的气隙太小,泵会停止转动。在严重情况下,这会导致真空泵完全失效。
2
不当的温度波动
在罗茨泵塞仍然很热的情况下,环境温度突然大幅度下降将会造成泵壳收缩,导致泵停止转动,在极限压力下作业时会尤其重要。因此,必须不惜一切代价避免环境温度的突变。另外,操作人员一定要注意不要突然打开附近的百叶窗、其他门等,特别是在冬天。
另外,对于那些自立式泵,要将其放在屋檐或天蓬下,以免其受到雨淋。如果在发生火灾时,将水直接对准泵,泵壳可能会爆炸,尤其是那些由灰口铸铁制作的壳体更容易发生爆炸。球墨铸铁版的泵,由于其材料的较高强度,更适合于承受这样的热波动。
3
温度控制
如果将罗茨泵以其最大差压运行,则需要在排气端安装一个温度传感器,用以防止过热及由此产生的任何损害。这会在限定的温度时产生警报,并且当其达到最大允许气温时,将会关闭泵。
4
快速抽空
在应用中,必须实现几秒钟的抽取周期,因此操作人员必须要确保罗茨泵和前级泵的比例为1:2。保证这一比例非常的必要,因为前级泵以100 hPa压强将空气泵出占用了大部分的泵出时间,而罗茨泵只需从10 hPa起的压力就可以有效运转。前级泵尺寸必须相应地大一些才行。
5
启动泵
如果使用了多级泵站或者多个并行操作的真空泵组合,那就有必要以交错的间隔来启动这些泵,最先要启动的是大气泵,这样可以避免过度的电力峰值以及保护高成本的断路器。这通过计时元件可很容易地在控制器和PLC中实现。还有一种方法,就是使用一个变频器,缓慢地启动泵。
6
液体侵入
突然的液体侵入会损坏泵,因为发生急剧冷却时,气体无法达到所需的温度来蒸发液体。额外的蒸汽不能及时泵出,因为前级泵已经超负荷且前级压力可能上升到过高的水平。为防止这种情况的发生,有必要在处理室和罗茨泵之间安装一个接收器,以使液体在没进入泵前就被吸收。
7
灰尘堆积
在会产生颗粒或挟带灰尘的工艺过程中,如在冶金或拉晶过程中,有必要在泵的进气口安装一个滤尘器,保护罗茨泵和下游泵。应该在罗茨泵的进气口处安装所谓的碎片保护网,防止在第一次使用系统时,由于清洁不当导致有较大固体物质和焊珠从焊接接头射出。在这种情况下,建议使用泵制造商的配件,因为设计了碎片保护网,以使其自由截面与泵的公称直径相符。s这保证了泵速不会因意外的电导损耗量而受到影响。
8
抽取稀有贵重气体
当抽取贵重且纯度较高的气体时,如氦3或氦4,必须不惜一切代价避免这些气体与周围环境空气相接触。此时要求泵体在低于10-5至10-8 hPa l/s的区域内具有较高的气密性和较低的泄漏率。一些真空泵生产商,像普发真空,能够为电机提供永磁联轴器代替普通的轴馈穿件。这使所有轴封环上存在的泄露成为历史。还可以使用封闭式电机,但操作人员在维修时必须依赖于泵生产商,因为这类封闭式电机是专门为该泵而开发的。比如使用磁耦合技术,可以使用具有成本效益的标准电机。